超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列 先进的自动化功能：EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。 灵活的用户界面：原生支持双显示器，提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集。1,2,4 或6通道信号可在同一个显示器上同时显示，可切换内容包括SEM各探测器以及样品室相机和导航相机。可以通过使用两个显示器来扩展工作空间，可定制的用户界面以提高工作效率。 超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列 机型 SU8600 系 电子光学系统 二次电子像分辨率 0.6 nm@15 kV 0.7 nm@1 kV * 放大倍率 20 to 2,000,000 x 电子枪 冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统。 加速电压 0.5 to 30 kV 着陆电压 * 0.01 to 20 kV 探测器 （部分为选配项） 上探测器(UD) UD ExB能量过滤器，包含SE/BSE信号混合功能 下探测器(LD) 顶探测器(TD) TD能量过滤器 镜筒内背散射电子探测器(IMD) 半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED) 新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD) 阴极荧光探测器(CLD) 扫描透射探测器(STEM Detector) 附件 （部分为选配项） 导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD) 软件 （部分为选配项） EM Flow Creater、HD Capture(最高 40,960×30,720 像素） 样品台 马达驱动轴 5轴马达驱动（X/Y/R/Z/T） 马达驱动轴 X：0~110 mm Y：0~110 mm Z：1.5~40 mm T：-5~70° R：360° 样品室 样品尺寸 最大直径：150 mm