电池生产中，超纯水的应用包括蓄电池、锂电池和太阳能电池等。这些产品的制造过程对水质要求极高，通常需要水的导电率达到0.1us/cm（即10兆欧姆的阻抗）。传统上，阴阳树脂交换技术被用来制备超纯水，但这种方法存在缺陷，因为使用一段时间后树脂需要定期再生。

随着工业膜分离技术的发展，现在常见的是采用反渗透膜处理工艺，以及在此基础上加以离子交换混床（或称为EDI）进一步净化。这一系列设备与流程包括：原水 → 多介质过滤器 → 活性炭过滤器 → 精密过滤器 → 反渗透设备 → 电去离子（EDI）系统 → 纯水储存罐 → 纯水泵输送系统 —— 最后通过一个精密过滤层确保到达最终使用点所需的一级或二级用水标准。