半导体芯片测试设备全览：从A到Z的检测工具大揭秘

在现代电子产业中，半导体芯片是核心组成部分，它们的质量直接关系到产品性能和可靠性。为了确保芯片的良好工作，需要一系列专门设计用于测试这些微型元件的设备。下面我们将详细介绍这些半导体芯片测试设备。

电阻测量仪

电阻测量仪能够准确地测定半导体芯片中的电阻值，是进行电路分析和故障诊断不可或缺的手段。

传感器与探针

高精度的传感器和探针用于接触或非接触式对芯片进行温度、电压、当前等参数监测。

微波抽取机

通过激发微波信号来抽取晶圆上的多个点位信息，以便对不同位置的特性进行评估。

光学显微镜

利用光学技术实现对晶圆表面的观察，从而检查是否有瑕疵或者缺陷，如划痕、颗粒等问题。

超声波清洁系统

清除晶圆上可能存在的一些污垢或金属屑，这对于后续工序如刻蚀、高温处理至关重要。

综合测试平台

集成了各种功能于一体，可以自动执行多种测试程序，对半导体产品进行全面检验，提高生产效率。