在工业气动控制系统中，MEMS传感器扮演着至关重要的角色，它们能够精确检测位置、速度、颜色、压力、温度和气流等非电量信息，从而实现自动化操作。这些传感器的应用不仅限于工业制造领域，还广泛存在于汽车制造、航空航天、电子/半导体生产和包装机械等行业。

气动技术是实现生产自动化的关键技术之一，其优势包括结构简单、高可靠性、高效能转换率以及对环境条件的适应能力。在现代汽车制造过程中，气动执行元件和控制系统被广泛用于焊接线上的车身移动定位与放置，以及焊点控制。此外，在家电和电子产品制造中，MEMS传感器通过真空吸盘抓取难以手工处理的零件，并精确地将它们运送到指定位置。

在包装自动化领域，MEMS传感器能够智能计量并包装块状或粉末状物品，如食品、药品和化工原料。最后，在生产线上进行零件加工和组装时，MEMS传感器提供了准确性高且成本低廉的手段，以减轻繁重的人力劳动。

智芯传感公司开发的一款适用于工业气动控制系统中的MEMS压阻式表压监测模块——ZXP3，是一款集成型高精度压力传感器。这款模块采用了先进的微机电(MEMS)技术，将核心采用的 MEMS 压阻式芯体与专用信号调理电路紧密结合。这种设计不仅提高了其抗干扰性能，而且保证了高达24位 Σ-Δ ADC 的数字输出，这使得该模块成为一个极为灵活且易于集成到印刷电路板(PCB)上的解决方案。

随着对自动化控制系统要求不断提升，以及对于能耗节约与机电一体化需求日益增长，MEMS技术正逐步成为未来工业气动控制系统发展趋势之一。