在工业气动控制系统中,MEMS传感器扮演着至关重要的角色,它们能够检测位置、速度、颜色、压力、温度和气流等非电量,并将这些信息转换为可供自动化操作的电信号。这种技术在汽车制造、工业机器人、航空航天以及电子/半导体领域等处发挥着巨大的作用。
气动控制系统由多个部分组成,其中包括气源系统、信号输入元件、信号处理元件和执行元件。与其他控制方式相比,气动控制具有许多独特的优势,如结构简单、高安全性,不污染环境且成本低。此外,气动执行元件可以快速响应并适应冲击负载,这使得它们在极端条件下工作时非常可靠。
随着工业自动化程度的提高,对于自动化控制系统的精确性和可靠性的要求也越来越高。这促进了对气动技术创新和发展的需求。目前,一些新的趋势正在逐渐形成,比如能量节约,以及使用机械与电力结合的一体化解决方案。而微机电系统(MEMS)的集成技术正变得越来越重要,因为它们能够提供更精细更灵敏的传感数据,以支持更加复杂和智能的自动化操作。
例如,在汽车制造行业,MEMS传感器用于焊接生产线上的车身移动和定位。在家电和电子产品制造业,它们用于精密零部件抓取。而在包装自动化中,它们帮助实现智能计量包装。在生产自动化方面,则用于零件加工和产品组装工序。
智芯传感公司推出了ZXP3表压压力传感器,这是一款专门针对工业气动控制设计的MEMS设备。它采用了先进的MEMS压阻式芯体设计,并配备了专用的信号调理功能,以确保输出的是高度准确且稳定的数字压力数据。此外,该传感器还具有宽温范围、高灵敏度以及良好的抗干扰性能,使其成为各种应用中的首选选择之一。