在工业气动控制系统中,MEMS传感器扮演着至关重要的角色,它们能够检测位置、速度、颜色、压力、温度以及气流等非电量信号,并将这些信息转换成电信号,以实现自动化操作。这种技术在汽车制造、工业机器人、航空航天和电子/半导体等领域具有广泛的应用。
气动控制系统由多个部分组成,其中包括气源系统、信号输入元件、信号处理元件、信号控制元件和执行元件。与其他控制方式相比,气动控制具有诸多优势,如结构简单、高可靠性、大输出功率、小尺寸轻质,以及对环境影响较小等。
随着工业生产自动化程度的不断提高,对自动化控制系统的精确性要求也在提升,这推动了气动技术的创新发展。现代生产线已经开始采用能量节约和使用电驱动组合机电一体化,以及微机电系统(MEMS)集成化。在汽车制造行业,家电和电子产品制造业以及包装自动化领域,MEMS传感器被广泛应用于各类工艺中。
例如,在汽车制造中,真空吸盘用于抓取并定位车身外壳,而在家用电器生产线上,则用于精密运送零部件。在包装自动化中,它们用于智能计量包装各种产品。而在生产自动化中,它们则减轻了繁重的人力劳动,使得工艺更加高效。
智芯传感公司提供了一款适用于工业气动控制的MEMS传感器——ZXP3表压压力传感器。这款传感器采用MEMS压阻式芯体和专用信号调理电路,并且可以提供高精度数字压力信号输出。此外,由于其独特优势,该传感器已获得客户高度认可,并且与国内多家知名上市公司合作展开业务。