在工业气动控制系统中，MEMS传感器扮演着不可或缺的角色，它们能够检测位置、速度、颜色、压力、温度和气流等非电量信号，并将这些信息转换成电信号，以实现自动化操作。这种技术在汽车制造、工业机器人、航空航天以及电子/半导体生产等领域都有广泛应用。

气动控制系统由多个部分组成，其中包括气源系统、高效率的信号输入元件、高性能的信号处理元件精确的信号控制元件，以及高效能执行元件。与其他控制方式相比，气动控制具有显著优势，如结构简单后期维护成本低，使用安全，不污染环境且成本低。

随着工业自动化程度不断提高，对于自动化控制系统可靠性和精确性的要求也越来越高，这推动了对气动技术创新和发展的需求。在未来，能量节约和机电一体化以及微机电系统集成化已经成为新兴趋势。在这一背景下，MEMS传感器发挥了关键作用，它们通过捕捉相关变量并将其转换为电信号，为自动化操作提供了强大的支持。

例如，在汽车制造行业，现代生产线广泛采用了基于气动技术的设备，如焊接生产线上的移动车身外壳定位放置以及焊点控制；家电和电子产品制造业则利用各种功能型气动执行元件进行精密加工；而包装自动化中，则应用于智能计量包装食品药品等产品；最后，在生产自动化中，也有大量零部件加工组装工序依赖于此类技术。

智芯传感公司研制了一款名为ZXP3表压压力传感器，该产品适用于工业气动控制，其核心采用的MEMS压阻式芯体及专用信号调理电路保证了高精度输出。此外，该传感器设计优雅，便于安装，并且符合业界标准，可用于医疗设备家用电器消费电子空调等多个领域。