在工业气动控制系统中,MEMS传感器扮演着不可或缺的角色,它们能够检测位置、速度、颜色、压力、温度和气流等非电量信号,并将这些信息转换成电信号,以实现自动化操作。这种技术在汽车制造、工业机器人、航空航天以及电子/半导体生产等领域都有广泛应用。
气动控制系统由多个部分组成,其中包括气源系统、高效率的信号输入元件、高性能的信号处理元件精确的信号控制元件,以及高效能执行元件。与其他传统控制方式相比,气动系统具有许多独特优势,如结构简单易安装,维护成本低;安全性高,不污染环境且成本较低;执行速度快,可适应快速变化的需求;可靠性高且使用寿命长。此外,现代气动技术还采用了微机电系统(MEMS)集成技术,使得设备更加精密和智能。
例如,在汽车制造业中,MEMS传感器被广泛用于焊接生产线上,以保证车身零部件在加工过程中的准确定位和精确运动。而在家电和电子产品制造业中,这些传感器则用于精密运送小型零部件,使得装配过程更加自动化、高效。在包装自动化领域,它们帮助实现智能计量包装,为食品、药品等行业提供了便利。在生产自动化领域,则通过减轻重复劳动,让工人们可以专注于更复杂的任务。
智芯传感公司的一款ZXP3表压压力传感器,是一款基于MEMS压阻式芯体设计,其核心优势在于其对温度线性度、零偏和灵敏度进行数字补偿,同时提供24-bit Σ-Δ ADC以保证输出数据的高度精度。此外,该产品采用单管壳结构降低环境干扰,并支持标准JEDEC封装,便于集成到印刷电路板上。
由于其卓越性能,如宽量程、高温域工作能力、高稳定性以及优异的抗干扰性能,该产品已获得国内外知名企业青睐,并展现出强大的市场潜力。