小型超纯水设备工艺是指用于制药行业的超纯水生产系统，这些系统虽然体积较小，但其工艺流程与大型设备相同，旨在为制药过程提供无菌、无杂质、高纯度的水源。小型超纯水设备具有以下特点：

该类设备尽管规模较小，但它们能够完成同样复杂的净化步骤。这些步骤通常包括四个主要阶段：

预处理-反渗透-中间储罐-阳极发生器-阴极发生器-混合层过滤器-终级储罐-纯水泵驱动装置-紫外线消毒机组件-精细过滤层（如0.2或0.5微米）后再送至使用点。

预处理净化→一级反渗透→pH调节加氢离子/碱离子调整→中间储罐→二级反渗透净化→终级储罐→纯水泵驱动装置+紫外线消毒机组件+最后通过0.2或0.5微米精密过滤层。

预处理净化 → 反渗透 → 中间储罐 → 水分配泵 → 电解除钠装置 (EDI) → 终级储罐 → 纯水泵驱动装置 + 紫外线消毒机组成部分 + 最后经过 0.2 或 0.5 微米 精密过滤。

同上但在最终环节增加了混合床进一步去除可能残留的杂质和微生物，然后再进行最终的 0.2 或 0.5 微米 精密过滤以确保最高标准下的用水质量。

市场对小型超纯水设备有着特殊需求，这主要受限于各行各业对于高品质用水标准的不同要求。例如，在制药行业，需要符合严格洁净条件且没有任何污染物（如电导性介质、矿物质等）的高浓度蒸馏淡化（RO）产物，以满足药品生产中的严格标准。这就使得这种一体式饮用清洁技术成为不可或缺的一部分。