在工业气动控制系统中,MEMS传感器扮演着至关重要的角色,它们能够检测位置、速度、颜色、压力、温度以及气流等非电量信号,并将这些信息转换成电信号,以实现自动化操作。这种技术不仅提高了生产效率,还保证了产品质量和安全。
气动控制系统是实现生产自动化的关键技术之一,其应用范围广泛,从汽车制造到电子/半导体产业,再到包装机械,这些领域都依赖于精密的气动执行元件和控制系统。与其他传统控制方式相比,气动控制具有诸多优势,如结构简单、后期维护成本低,以及环境友好性。
随着工业自动化水平的不断提升,对自动化设备的可靠性和精确性要求也在增加,这推动了对MEMS传感器性能需求的上升。在汽车制造业中,MEMS传感器用于焊接生产线上的车身移动和定位;在家电和电子产品制造业中,它们用于精密计量包装;而在包装自动化领域,则用于智能计量包装;最后,在生产自动化中,它们帮助减轻繁重人力劳动。
智芯传感公司研发的一款适用于工业气动控制的MEMS压阻式表压压力传感器——ZXP3,是一个典型案例。这款传感器采用高性能MEMS芯体及其专用信号调理电路,不仅提供宽量程、高稳定性的测量结果,而且还能抵抗外部干扰,使其在医疗设备、中低端消费电子等多个行业中的应用得到了广泛认可。
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