在工业气动控制系统中，MEMS传感器扮演着至关重要的角色，它们能够精确地检测位置、速度、颜色、压力、温度以及气流等非电量信号，从而实现自动化操作。这些微型机械系统(MEMS)技术集成的传感器，不仅提高了系统的可靠性和精度，而且使得气动控制更加智能化和高效。

工业制造领域对气动技术的依赖日益增长，这主要是因为它可以提供一种有效且经济的手段来实现生产自动化。气动控制系统通过将空气压缩机作为动力源，并利用压缩空气作为工作介质，可以进行能量或信号的传递。这一技术已经在汽车制造、工业机器人、航空航天以及电子/半导体行业等多个领域得到广泛应用。

与其他类型的控制和传递方式相比，气动控制具有显著优势。例如，其结构简单易安装，后期维护成本低；使用安全，无污染环境成本较低；执行元件运动速度及输出力的大小易调节，可快速响应间歇运动，对冲击负载和过载有较强适应能力。此外，由于其标准化、高可靠性和长寿命，使得全氦或者全氖（如液态氧）都不会导致爆炸，因此适用于极端条件下防止爆炸或火灾，以及抗潮性能良好。

随着工业自动化水平不断提升，对自动化控制系统的要求也越来越高，这促进了对新材料、新工艺、新设备需求的大幅增长。在这种背景下，MEMS传感器成为推动这一创新发展趋势不可或缺的一部分。智芯传感公司研发的一款ZXP3表压式压力传感器，就是一个典型案例，该产品采用了MEMS压阻式芯体与专用信号调理电路结合，以保证高精度数字输出，同时具有宽量程、高温域稳定性，是现代工业中的不可或缺之选。