小型超纯水设备工艺是针对制药行业的特殊需求设计的一种技术，它虽然规模较小，但其处理能力和纯度要求与大型设备不相上下。以下是该设备的四种主要工艺流程：

预处理-反渗透-中间水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器（如0.2或0.5μm）后，最后送至用水对象。

预处理、一级反渗透、PH调节加药机、中间水箱、二级反渗透后，再经过中间储存，然后再次过滤并通过紫外线消毒，最终达到高标准。

首先进行预处理和反渗透，接着通过EDİ装置进一步净化，最后在中间储存室待命，在需要时通过系统供给，并在输送过程中加入最终消毒层，如0.2或0.5μm的精密过滤器。

类似于第3种流程，但是会增加一个额外步骤，即在EDI装置后的步骤加入了一个精制混床来进一步提高净化效果，最终仍然采用高级过滤技术确保质量。

这些小型超纯水设备市场需求特点表明，无论是在食品工业还是生物科技领域，都有着极为严格的洁净环境要求，这些都需要依靠更为先进的净化技术才能满足。比如说，在制药领域，由于直接接触人体健康，因此对于所使用之溶剂及溶质必须无污染物存在，以免引起任何副作用。此类需求促使研究人员不断寻求更有效、更安全、高效率生产方案以满足日益增长的人群对健康产品的追求。