在工业气动控制系统中,MEMS传感器扮演着至关重要的角色,它们能够检测位置、速度、颜色、压力、温度以及气流等非电量信号,并将这些信息转换成电信号,以实现自动化操作。这种技术在汽车制造、工业机器人、航空航天和电子/半导体等领域得到了广泛应用。
气动控制系统由多个部分组成,其中包括气源系统、信号输入元件、信号处理元件、信号控制元件和执行元件。与其他控制方式相比,气动控制具有诸多优势,如结构简单、高可靠性、大输出功率、小尺寸轻质,以及对环境的适应性强。
随着工业自动化水平的不断提高,对于自动化系统的精确性和可靠性的要求也越来越高,这促使了对气动技术创新和发展的需求。目前,能量节约与机电一体化以及微机电系统(MEMS)的集成已成为新兴趋势。在工业应用中,MEMS传感器用于监测压力变量,是实现精确操作不可或缺的一环。
例如,在汽车制造行业,MEMS传感器被广泛应用于焊接生产线上,以保证车身外壳加工过程中的精确定位。而在家电和电子产品制造业,则主要用于精密吸盘抓取零部件并进行运输。此外,在包装自动化领域,MEMS传感器用来智能计量包装,而在生产自动化中,它们则用于减轻繁重劳动并提高工作效率。
智芯传感公司提供了一款名为ZXP3的MEMS表压压力传感器,该产品采用了先进的MEMS压阻式芯体设计及专用的信号调理电路,为用户提供了宽温域、高稳定性的数字压力输出。该产品因其独特优势而受到市场认可,并且已经与国内多家知名企业合作展开业务。