在工业气动控制系统中，MEMS传感器扮演着至关重要的角色，它们能够检测位置、速度、颜色、压力、温度和气流等非电量信号，并将这些信息转换成电信号，以实现自动化操作。这种技术在汽车制造、工业机器人、航空航天以及电子/半导体生产等领域都有广泛应用。

气动控制系统由多个部分组成，其中包括气源系统、高效率的信号输入元件、高性能的信号处理元件精确的信号控制元件，以及高效能执行元件。与其他传统控制方式相比，气动控制具有显著优势，如结构简单，后期维护成本低；压力稳定，不污染环境且成本较低；执行速度可调节，可快速响应间歇运动，并且具备抗冲击负载和过载能力。此外，它们还能抵御强磁干扰，在恶劣环境下保持稳定工作。

随着工业自动化程度的提升，对于自动化控制系统的可靠性和精确性要求日益提高，这推动了气动技术不断创新发展。现代工厂采用更多的是能源节约型和电液驱动一体化技术，以及微机电系统(MEMS)集成技术。在这些新兴趋势中，MEMS传感器发挥了关键作用，它们能够准确地检测各种物理参数并提供实时数据，为智能制造提供支持。

例如，在汽车生产线上，真空吸盘通过精密操控来抓取零部件并进行焊接或装配。而在家电制造业中，MEMS传感器用于计量包装过程中的粉末或液体产品。它们还被用于食品加工行业中的智能计量包装设备。

智芯传感公司研发出了一款适合于工业气动控制应用的MEMS表面压力传感器——ZXP3。这款产品采用先进的心脏采集单片机（ASIC）以数字补偿温度变化对输出结果进行校正，同时内置24位Sigma-Delta ADC保证了高分辨率测量。此外，该设备设计有宽温范围，可以适应多种环境条件，使其成为许多不同行业应用的一大亮点。