在工业气动控制系统中,MEMS传感器扮演着至关重要的角色,它们能够检测位置、速度、颜色、压力、温度以及气流等非电量信号,并将这些信息转换成电信号,以实现自动化操作。这种技术在汽车制造、工业机器人、航空航天和电子/半导体等领域具有广泛的应用。
气动控制系统由多个部分组成,其中包括气源系统、信号输入元件、信号处理元件、信号控制元件和执行元件。与其他控制方式相比,气动控制具有诸多优势,如结构简单、高可靠性、大输出功率、小尺寸轻质,以及对环境污染低等特点。
随着工业自动化程度的提高,对于自动化控制系统的精确性和可靠性要求越来越高,这促进了气动技术的创新发展。目前,能量节约和机电一体化已经成为新兴趋势之一。在工业气动控制中,MEMS传感器不仅检测了上述参数,还通过微型精确设计,将相关变量转换为电信号,从而实现了智能化操作。
汽车制造行业是最典型的一种应用场景,其中MEMS传感器被用于焊接生产线上的车身移动定位以及焊接枪的调控。此外,在家电和电子产品制造业中,也广泛采用MEMS传感器进行零部件抓取或计量包装;而在包装自动化方面,则主要用于食品药品等行业中的智能计量;最后,在生产自动化中则涉及到各种工艺,如零件加工组装等,都依赖于MEMS传感器提供准确信息。
智芯传感公司开发了一款名为ZXP3表压压力传感器,其核心采用的是基于MEMS技术的小规模机械结构,使得它适应各种复杂条件下的工作,同时保持高精度输出。这款产品因其独特之处,被广泛应用于医疗设备家用电器消费电子空调等领域,并获得客户高度评价。