小型超纯水设备工艺是为了满足制药行业对用水的严格要求。尽管这些设备体积较小，但它们采用的大致相同的工艺流程，确保了产品质量与大型设备无异。在这类设备中，每一种都是精心设计，以确保每一步都能达到极高的纯度标准。
其主要包括以下四种不同类型：
预处理-反渗透-储存箱-阳床过滤器-阴床过滤器-混合过滤器-最终储存箱-纯水泵系统紫外线消毒装置和精密混合过滤器以供使用。
预处理加一级反渗透、pH调节系统、中间储存箱、二级反渗透、最终储存箱、纯水泵系统紫外线消毒装置和0.2或0.5微米级别的精密过滤器作为最后步骤提供给需要用到这种级别清洁水质的对象。
预处理一系列操作后，经过反渗透然后再通过ED装置进行进一步净化，最终在最终储存箱中通过再次净化过程，再由纯水泵推送至紫外线消毒并且通过0.2或0.5微米级别精密过滤后的最终产品可供使用。
类似于上述第三种方法，但是多了一道精制混床来进一步提升产品质量，并且在最后步骤仍然保持了最高水平的净化效果，使得用户得到的是真正的一流品质之选。
市场对于这样的小型超纯水设备有着巨大的需求，因为各种各样的行业都对其拥有特殊而迫切的需求。例如，在制药领域，药物不仅直接食入人体，还能够改变身体状况，因此它比食品更为敏感，对于杂质、电解质以及矿物含量等方面有着非常严格要求，只有达到极端高标准即可被认定为合格之用，这就是为什么需要超純設備來滿足這些特殊需求。
