螺杆式无油机械真空泵又称为干式螺杆真空泵，是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动。两螺杆经精细动平衡，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆，螺杆与泵体之间都有一定的间隙，泵工作时相互之间无摩擦，运转平稳、噪音低，且工作腔无需润滑油，因此螺杆真空泵适用于半导体、电子以及要求洁净真空的场合，完全可以代替油封式机械泵，水封式机械泵成为新一代的主要真空获得设备。

主要特点：

● 结构紧凑，占地面积小。

● 泵腔内无油，对真空系统无污染，提高产品质量。

● 泵腔内无油，解决油乳化及频繁更换工作液、频繁维护和保养等问题，节约使用成本。

● 无废水，废油的的排放，对环境无污染。

● 能抽除大量水蒸气和少量粉尘的气体。增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射等气体。

● 极限真空较高，可代替大部分罗茨水环以及罗茨往复式真空机组。

● 泵腔及螺杆表面可进行镀镍以及PTFE涂层处理，可抽除大量水蒸气及多种腐蚀型介质。

型号/性能/参数（Type-Performance-parameter）