压力传感器其应用领域之双重展开

导言:本文以摩托罗拉公司的压力传感器为例,探讨了其设计与应用中的误差补偿策略。压力传感器在实际应用中存在多种类型和误差,包括偏移量、灵敏度、线性和滞后误差。本文将详细介绍这些误差产生的原因及其对测量结果的影响,并分析了用于提高测量精度的标定方法及实践案例。

摩托罗拉公司生产的主要压力传感器是一种单片微机电系统(MEMS)式压阻变换器,其特点是具有三类产品:未经标定或仅进行基本温度补偿;已进行标定并且含有温度补偿功能;以及带有标定、温度补偿和放大功能。这些传感器通过薄膜电阻网络实现偏移量和范围标定的修正,这些网络在封装过程中通过激光技术进行调整。

这类传感器通常与微处理单元(MCU)结合使用,而 MCU 内部建立了关于该传感器数学模型。在读取输出电压后,该模型可以将电流转换为实际可读取的压力值。这一简单数学模型即为一个基本增益函数,它可以在整个标定过程中被优化,并随着增加更多参考点而变得更加精确。

从计量学角度来看,测量误差定义为真实值与测量值之间的差异。而我们通常无法直接获取真实值,但通过使用更高精度仪表作为参照,可以估算出这个差异。由于未经过标定的系统只能依赖于典型灵敏度和偏移来转换输出电压,我们获得的是如图1所示的一系列错误曲线。

这四种错误由以下因素组成:

a. 偏移错误,由于整体偏移保持恒定,因此扩散变化会导致偏移。

b. 灵敏度错误,对于任何给定的输入都会造成非线性影响。

c. 线性错误,是由于硅片物理非线性的结果,但对于带放大的设备,还需要考虑放大设备自身非线性的影响。

d. 滞后错误,在绝大部分情况下,可以忽略不计,只有当发生极端条件时才需考虑。

为了消除或减少这些误差,我们采用了一系列技术,如自动归零法来减少偏移,以及两级校准等,以最大程度地降低所有其他形式的误差。此外,更先进的一些校准程序还能提供更高水平的心理稳定性,使得我们能够接近理论上的最佳性能标准。

因此,本文旨在深入探讨如何利用各种方法去减小这一普遍问题,为不同需求下的应用提供解决方案,从而提升整个工程领域内智能监控系统、医疗监护设备乃至工业控制系统等各个方面的手段效率。

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