导言:本文以摩托罗拉公司的压力传感器为例,探讨了其设计与应用中的误差补偿策略。压力传感器在实际应用中存在多种类型和误差,包括偏移量、灵敏度、线性和滞后误差。本文将详细介绍这些误差产生的原因及其对测量结果的影响,并提出提高测量精度的标定方法及实用案例。
摩托罗拉公司生产的一类主流压力传感器是一种单片微机电系统(MEMS)式压阻变换器,该产品分为三个系列:未加标定且不带温度补偿、具有标定并带有温度补偿以及具备标定、补偿和放大功能。在这些系列中,偏移量、范围标定以及温度补偿均可以通过薄膜电阻网络实现,这些网络在封装过程中通过激光修正而形成。
这款传感器通常与微处理器结合使用,其中微处理器嵌入软件建立了传感器数学模型。该模型可由输出电压转换成测量值,而这种转换是通过模数转换进行的。该模型可在整个标定过程中优化,并随着增加测试点数量而变得更加完善。
从计量学角度看,测量误差是指测得的压力与实际应有的压力的差异,而实际上我们无法直接获得真实值,但可以通过标准仪表估算其大小。由于未经校准系统只能利用典型灵敏度来将输出电压转换为预期数据,其所得数据会出现如图1所示形式的错误曲线。
这种未校准初始错误由以下几部分组成:
a. 偏移量错误,由于整体范围内垂直偏移保持恒定的变化导致。
b. 灵敏度错误,与预期相比可能造成逐渐递增或递减。
c. 线性错误,是硅片物理非线性的结果,对带放大信号更重要。
d. 滞后错误,在大多数情况下被忽略,但对于极端条件需要考虑。
为了消除或减少这些问题,可以进行各种校准措施,如自动归零、一点、二点、三点等法。此外,还可以采用硬件或软件手段进行参数调整,以达到最佳效果。在选择适当校准方法时,还需考虑成本因素,因为不同的设计要求可能需要不同的解决方案。此外,由于存在多样化集成技术和不同程度的人工智能辅助,可以根据具体需求选择最合适的手段来提升性能。