zonglen半导体工艺 冰水机Chiller ZL802是一台循环液进行温度控制并将其供给至客户的冷热源的装置。具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置，采用控温设计和技术，具有广泛的温度范围：-80℃至+300℃，在半导体制作过程激光加工机/分析装置/LCD制造装置/金属模具温控等广泛用途中成果较多。 zonglen半导体工艺 冰水机Chiller 特点 ·温度范围:-80℃~+300℃ ·温度稳定性±0 .1℃℃ ·PLC触摸屏操作，人机交互界面 ·结构简单、可靠性高 ·定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能 ·温度波动小 zonglen半导体工艺 冰水机Chiller 应用 ·应用于半导体、激光、焊接机、食品、包装机，如：半导体（蚀刻装置、CMP、涂布机）显影机、试验机、清洗机，激光（激光加工机、激光焊接机、激光器、光纤激光器用传送电缆接头、检查装置、二次电池制造工程） ·焊接机（弧焊、电阻焊接、高频感应加热设备） 可用选项 ·省空间、省配线、省配管、省工时、双变频型更节能。 可对应温度稳定性±0.1℃、温度范围-80℃~+300℃。 循环液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去离子水（纯水）。 冷却方式：风冷式（可选配水冷式）